1.前的准备
（1）三坐标测量机对环境要求比较严格，应按合同要求严格控制温度及湿度。
（2）三坐标测量机使用空气轴承，理论上是永不磨损结构，但是如果气源不干净，有油，水或杂质，就会造成空气轴承阻塞，严重时会造成空气轴承和气浮导轨划伤，后果严重。所以每天要检查机床气源，放水放油，定期清洗过滤器及油水分离器。还应注意机床气源前级空气来源，空气压缩机或集中供气的储气罐也要定期检查，
（3）三坐标测量机的导轨加工精度很高，与空气轴承的间隙很小，如果导轨上面有灰尘或其它杂质，就容易造成空气轴承和导轨划伤。所以每次开机前应清洁机器的导轨，金属导轨用航空汔油擦拭（120或180号汽油）花岗岩导轨用无水乙醇擦拭。
（4）切记在保养过程中不能给任何导轨上任何性质的油脂。
（5）定期给光杆，丝杆，齿条上少量防锈油。
（6）在长时间没有使用三坐标测量机时，在开机前应做好准备工作：控制室内的测试和湿度（24小时以上）在南方湿润的环境中还应该定期把电控系统由于受潮突然加电后损坏。然后检查气源，电源是否正常。
（7）开机前检查电源，如有条件应配置稳压电源，定期检查接地，接地电阻小于4 。
2.工作过程中
（1）被测零件在放到工作台上检测之前，应先清洗去毛刺，防止在加工完成后零件表面残留的冷却液及加工残留物影响三坐标测量机的测量精度及探针，等高块的使用寿命。
（2）被测零件在测量之前应在室内恒温，如果温度相差过大就会影响测量精度。
（3）大型及重型零件在旋转到工作台上的过程中应轻放，以避免造成剧烈碰撞，致使工作台或零件损伤。必要时可以在工作台上放置等高块以防止碰撞。
（4）小型及轻型零件放到工作台后，应紧固后再进行测量，否则会影响测量精度。
（5）工在作过程中，测座在转动时（特别是带有加长杆的情况下）一定要远离零件，以避免碰撞。
（6）在工作过程中如果发行异常响声或突然应急，切勿自行拆卸及维修，请及时与制造商联系，制造商会安排经过严格培训的人员前往，并承诺以快的速度帮助客户解决问题。
3.操作结束后
（1）请将Z轴移动到后方，但应避免针头撞到工作台。
（2）工作完成后要清洁工作台面。
（3）检查导轨，如有水印请及是检查过滤器。如有划伤或碰伤也请及时与制造商联系，避免造成更大损失。
（4）工作结束后将机器总气源关闭。
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