1.压缩空气质量要求
由于坐标测量机一般采用气浮轴承，因此需要压缩空气。压缩空气的质量直接影响测量机的正常工作和使用寿命，一般的测量机厂商均对压缩空气提出一定的要求。
测量机本身带有精度较高的精密过滤器，可以滤水和滤油，但仍应有前置过滤装置，保证压缩空气中不含有油，水和杂质，坐标测量机的前置过滤器须由用户另购。
2.压缩空气产生原理和杂质的来源
产生，处理和储存压缩空气的设备称为气源设备，由气源设备组成的系统称为气源系统。典型的气源设备包括空气压缩机，自动排水器，压力开关，压力表，油水分离器，气罐等。通过电动机驱动的空气压缩机，将大气压力状态下的空气压缩成较高的压力，输送给气动系统。压力开关是根据压力的大小来控制电动机的启动和停转。当气罐内压力上升到调定的最高压力时，使电动机停止运转，当气罐内压力降至调定的最低压力时，则电动机又重新运转。当气罐内压力超过允许限度时，安全阀自动打开和，中外排气，以保证气罐的安全。冷冻空气干燥式的冷却器降低压缩空气的温度，将水蒸气及油污冷凝成液态水滴和油滴。油水分离器用于进一步将压缩空气中的油，水分离出来。在冷却器，油水分离器和气罐的最低点处，设有手动或自动排水器，以便排除各处冷凝的液态油水。
3.气源处理的必要性
从空压机输出的压缩空气中，含有大量的水分，油分和粉尘等杂质，必须适当清除这些杂质，以避免它们对气动系统的正常工作造成危害。
变质的数见不鲜粘度增大，从液态逐渐固态化而形成油泥。这会堵塞气浮块的气孔。造成气动元件内的相对运动件的动作不灵活。水分会腐蚀金属零件，管道内滞留的冷凝水，会导致流量不足，压力损失增大。铁屑和粉尘使运动件磨损，造成元件动作不良，粉尘会加速密封件损伤，导致漏气。
空气质量不良是气动系统出现故障的最主要因素，使气动系统的可靠性和使用寿命大大降低。
一般来说，气源的杂质主要来源于：由系统外部通过空压机等吸入的杂质，系统内部产生的杂质和系统和维修时产生的杂质。
4.供气系统的典型配置
一般情况下，测量机的前置过滤装置，安装在三坐标测量机后方墙体之上便于观察的位置，并在放水杯下放置盛水容器，用户需要把供气部件安装在机房外面，空压机到测量机的距离不小于50m，否则，需要考虑安装减震装置。如果压缩空气在进入测量机之前质量不好，需要选用前置过虑器，以便滤除油污和杂质，测量机往往由于压缩空气中过多的油，水，导致大的故障。
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